纳诺测量取得基于视觉的晶圆盒快速测量机专利，提升了测量效率

国家知识产权局信息显示，深圳市纳诺测量技术有限公司取得一项名为“基于视觉的晶圆盒快速测量机”的专利，授权公告号CN223596800U，申请日期为2025年1月。

专利摘要显示，本实用新型公开了基于视觉的晶圆盒快速测量机，包括底座，所述固定板上设置有上视觉模组，所述底座的顶部位于上视觉模组的正下方固定安装有电动旋转台，多组所述固定柱的顶部固定安装有用于晶圆盒放置的放置板，所述放置板的顶部开设有多组用于晶圆盒定位的产品定位柱；所述底座的顶部设有三轴运动机构，所述三轴运动机构上设置侧边视觉模组；本实用新型的晶圆盒快速测量机为集运动及视觉一体的快速测量设备，可快速完成晶圆盒外形尺寸的测量，提升了测量效率，并能够降低测量难度，大大提高了生产效率，并且采用了非接触式测量技术，设备无需与晶圆盒直接接触，从而避免了因接触而产生的误差和磨损。

天眼查资料显示，深圳市纳诺测量技术有限公司，成立于2015年，位于深圳市，是一家以从事仪器仪表制造业为主的企业。企业注册资本500万人民币。通过天眼查大数据分析，深圳市纳诺测量技术有限公司参与招投标项目2次，专利信息15条，此外企业还拥有行政许可8个。

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来源：市场资讯