杭州晶驰机电申请工作台及大功率金刚石生长设备专利，有效提高沉积工艺的稳定性

2025-11-29 知识科普 1 作者：zk520

国家知识产权局信息显示，杭州晶驰机电有限公司申请一项名为“工作台及大功率金刚石生长设备”的专利，公开号CN121023460A，申请日期为2025年8月。专利摘要显示，本发明提供了一种工作台及大功率金刚石生长设备，涉及金刚石生长设备技术领域，本发明提供的工作台包括基片台、沉积台和沉积台载台，沉积台包括外环和内板，外环安装于沉积台载台，外环设有通孔，内板安装于通孔，外环的硬度大于内板的硬度，内板的导热系数大于外环的导热系数，基片台放置于内板上。本发明提供的工作台既保证了良好的机械强度，又提升了热控性能，从而有效提高了沉积工艺的稳定性。

天眼查资料显示，杭州晶驰机电有限公司，成立于2021年，位于杭州市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本846.3675万人民币。通过天眼查大数据分析，杭州晶驰机电有限公司共对外投资了2家企业，参与招投标项目9次，财产线索方面有商标信息4条，专利信息27条。