华矽半导体等取得适用于PECVD的气体喷淋头专利,气体通过出气孔向外均匀扩散
金融界2025年8月26日消息,国家知识产权局信息显示,安徽华矽半导体科技有限公司、宣城先进光伏技术有限公司取得一项名为“一种适用于PECVD的气体喷淋头”的专利,授权公告号CN223268759U,申请日期为2024年09月。
专利摘要显示,本实用新型涉及气体喷淋设备技术领域,具体涉及一种适用于PECVD的气体喷淋头,为解决现有技术气体流速不均匀、制备效率低的问题。该气体喷淋头包括围管,管状结构;气体喷淋板,设置在所述围管的下端,其上设有若干出气孔,所述出气孔的纵向剖面为中间细两端粗的腰鼓状;所述围管远离所述气体喷淋板的一端与通气管连接,所述围管的内部上下两端之间的空间构成一个气体容纳腔;所述通气管向所述气体容纳腔内输入需要的气体,气体通过出气孔向外均匀扩散。
天眼查资料显示,安徽华矽半导体科技有限公司,成立于2021年,位于宣城市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本2000万人民币。通过天眼查大数据分析,安徽华矽半导体科技有限公司参与招投标项目4次,专利信息18条,此外企业还拥有行政许可1个。
宣城先进光伏技术有限公司,成立于2020年,位于宣城市,是一家以从事研究和试验发展为主的企业。企业注册资本31000万人民币。通过天眼查大数据分析,宣城先进光伏技术有限公司共对外投资了6家企业,参与招投标项目62次,专利信息92条,此外企业还拥有行政许可3个。
来源:金融界
tags: