中晶新源申请寄生超级整流器MOSFET集成器件专利,提升有效性能
国家知识产权局信息显示,中晶新源(上海)半导体有限公司申请一项名为“一种寄生超级整流器的MOSFET集成器件及其制作方法”的专利,公开号CN121357978A,申请日期为2025年10月。
专利摘要显示,本发明公开了一种寄生超级整流器的MOSFET集成器件,包括MOS外延层、MOS沟槽栅、体区、源区、隔离层和接触孔;接触孔包括SBR结构区和金属柱;SBR结构区包括底部介质层、SBR金属栅极和SBR栅介质层;体区通过体接触区与金属柱形成欧姆接触,还分别与金属柱和SBR栅介质层连接。本发明另一方面公开了上述器件的制作方法,包括以下步骤:在外延层上制作MOS沟槽栅;设置体区、源区、隔离层和接触孔;在接触孔设置底部介质层和第一介质层;沉积SBR金属栅极;设置体接触区;蚀刻第一介质层和SBR金属栅极形成SBR结构区;设置金属柱和金属层。本发明的寄生结构不单独占用有源区的元胞结构,且每个MOS元胞都设置有相邻的具有寄生结构的接触孔,提升有效性能。
天眼查资料显示,中晶新源(上海)半导体有限公司,成立于2017年,位于上海市,是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本10000万人民币。通过天眼查大数据分析,中晶新源(上海)半导体有限公司参与招投标项目2次,财产线索方面有商标信息9条,专利信息31条,此外企业还拥有行政许可1个。
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来源:市场资讯
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